地熱取用方式會因為地底流體相態與成分不同而有所差異,台灣地熱資源多屬「熱液資源」,大多以熱水的形式儲存於地層中,水蒸汽含量僅5~15%,溫度多在160~200℃,屬於較低溫的地熱資源。清水地熱熱液產出的相態為蒸汽與水的混和態,而大屯火山系統出產的熱液則為蒸汽型態為主。
透過地熱井引出受到加熱的地下水,並利用蒸汽推動渦輪機運轉,藉以發電。地熱發電可分為乾蒸汽式、閃發式、雙循環式、混合循環式。台灣地熱條件適合發展雙循環式系統,即使用地熱水與蒸汽透過熱交換器加熱低沸點的工作流體,工作流體汽化後推動渦輪機發電,再將工作流體經過冷凝以循環使用、地熱水則再次注入地底。地熱發電具有溫度與流量穩定的特性,可以24小時穩定發電,適合作為基載型能源。