透過地熱井引出受到加熱的地下水，並利用蒸汽推動渦輪機運轉，藉以發電。地熱發電可分為乾蒸汽式、閃發式、雙循環式、混合循環式。台灣地熱條件適合發展雙循環式系統，即使用地熱水與蒸汽透過熱交換器加熱低沸點的工作流體，工作流體汽化後推動渦輪機發電，再將工作流體經過冷凝以循環使用、地熱水則再次注入地底。地熱發電具有溫度與流量穩定的特性，可以24小時穩定發電，適合作為基載型能源。
地熱取用方式會因為地底流體相態與成分不同而有所差異，台灣地熱資源多屬「熱液資源」，大多以熱水的形式儲存於地層中，水蒸汽含量僅5~15%，溫度多在160~200℃，屬於較低溫的地熱資源。清水地熱熱液產出的相態為蒸汽與水的混和態，而大屯火山系統出產的熱液則為蒸汽型態為主。
台電與中油公司於宜蘭仁澤地區合作開發地熱發電計畫，並負責地熱電廠規劃、設計及施工；
中油已完成兩口地熱井之鑽井及產能測試，經評估約可設置1MW（百萬瓦）之地熱發電廠，
台電已完成電廠初步規劃設計，於2022年動工，預計2023年完工商轉。